研磨液檢測儀跟上時代的步伐

   研磨液檢測儀根據(jù)歐盟和國標(biāo)頒布鎳釋放標(biāo)準(zhǔn)制造，應(yīng)用范圍廣泛，配合六角型滾筒金屬樣品掛架磨料和磨漿，方便實(shí)驗室人員使用，可通過電腦控制，提供穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速；可順時針或者逆時針轉(zhuǎn)動。

   研磨液檢測儀數(shù)碼計算機(jī)控制，軟墊頭接觸式按鈕提供標(biāo)準(zhǔn)的時間及程序調(diào)教，全自動設(shè)計，能于特定時間轉(zhuǎn)向，預(yù)設(shè)順逆各轉(zhuǎn)2.5小時，測試完成后鎳釋放儀器自動停止。目前，研磨液檢測儀技術(shù)已經(jīng)發(fā)展成以化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)為主體，集在線檢測、終點(diǎn)檢測、清洗等技術(shù)于一體的CMP技術(shù)，是集成電路向微細(xì)化、多層化、薄型化、平坦化工藝發(fā)展的產(chǎn)物，同時也是晶圓由200mm向300mm乃至更大直徑過渡、提高生產(chǎn)率、降低制造成本、襯底全局平坦化所必需的工藝技術(shù)。

   研磨液檢測儀具有動態(tài)粒徑范圍廣，檢測時間短及重現(xiàn)性高等特點(diǎn)，所以常用來檢測的粒徑分布特征，激光衍射儀的工作原理是基于不同性質(zhì)的兩個物理量，理論上講，對于特定粒徑的粒子，激光衍射會產(chǎn)生一個明暗相間的衍射環(huán)。研磨液檢測儀衍射環(huán)的位置及相鄰光環(huán)間的距離與粒子的粒徑成反比。但是對于粒徑小于2μm的粒子，衍射環(huán)就檢測不到，此時必須以另一種的方法，該方法描述了一個特定粒子由于各點(diǎn)散射光波的相互干涉導(dǎo)致的大角散射的改變，而這種散射角度的變化不僅取決于粒子粒徑與激光波長，還與粒子的吸光性質(zhì)與折射率有關(guān)。

   研磨液檢測儀為用戶提供可方便、快捷、、可靠的粒徑分析，是一臺掃頻接收機(jī)，輸入信號與本地振蕩信號在混頻器變頻后，經(jīng)過一組并聯(lián)的不同中心頻率的帶通濾波器，使輸入信號顯示在一組帶通濾波器限定的頻率軸上。顯然，由于帶通濾波器由無源元件構(gòu)成，頻譜分析器整體上顯得很笨重，而且頻率分辨率不高。